UHD面板成主流　应材导入电子束检视技术

超高解析度（UHD）面板已是市场主流，为满足消费者需求，面板厂也全力投入超高解析度面板生产，应用材料为显示器产业，推出首台可于生产线上使用的高解析度电子束检视 (EBR) 系统，让面板厂能更迅速达成OLED与UHD 液晶面板产品的最佳化良率，为显示器产业注入新概念、新活力。应用材料将原来运用在半导体元件检视的先进扫描式电子显微镜技术，进一步结合在大尺寸显示器的真空系统平台上，成为生产线上使用的 EBR 技术，以最快速有效的方式，在製造先进行动装置与电视显示器时，发现与分析造成良率损失缺陷的原因。应材指出，当製造商追求迅速、成本效益，创造良率极大化，更快速地向市场推出新型式显示器时，目前应用材料的 EBR 系统已接获世界前10大显示器製造商中6家的订单，且订单需求持续增加中。由于目前在显示器製造中所使用的自动光学缺陷检测机台无法像扫描式电子显微镜(SEM)一样有效地辨识致命与非致命的缺陷，或确认系统性地的起因。在应用材料尚未推出EBR系统之前，以SEM分析显示器製品，需用破坏性检视，必须将玻璃基板切割成小片以取得样品，再分别将每块小片于显微镜下做检查。如此做法不但耗资、耗时，还几乎无法定位缺陷在整片面板上确切的位置，藉由提供製造线上的SEM检视，以业界最高解析度及分析速度，又不需要破坏面板，可一举解决上述的这些限制。应用材料资深副总裁暨显示器及相关联产业市场事业群及全球服务事业群总经理阿里?沙勒普尔 (Ali Salehpour)表示，新型的EBR系统能协助客户解决OLED与LCD面板製造的严峻挑战。阿里?沙勒普尔说，结合应用材料在半导体良率优化技术以及面板级扫描电子显微镜 (SEM) 的独特技术，不但能开拓潜在市场，还能帮助客户避开优化良率过程上高成本的耗损。由于先进的显示器科技需要增加更多的製程步骤，因而会带进更多、更细微的汙染物及新型态的缺陷。
随着新兴应用如扩增实境与虚拟实境、智慧型载具等都需要形式上更好更新的显示器。随着这些应用的日益增加，应材的EBR正好是因运而生的解决方案，更是帮助客户产品即时上市的推手。 （吴秀桦／台北报导）
 

应用材料为显示器产业，推出首台可于生产线上使用的高解析度电子束检视 (EBR) 系统，让面板厂能更迅速达成OLED与UHD 液晶面板产品的最佳化良率。应材提供

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